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Advanced Etch Technology for Nanopatterning VII

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Artikelnummer 9781510616707
Status Fremdlagertitel. Lieferzeit unbestimmt
Autor Engelmann, Sebastian
Einband Kartonierter Einband (Kt)
Sprache eng
Seiten 164
Verlag SPIE Press
Reihe Proceedings of SPIE
Publikationsjahr 2018

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