Charakterisierung von diffraktiv-optischen Elementen

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Die ursprünglich als Diplomarbeit verfasste Schrift beschreibt den Aufbau eines preiswerten Messplatzes zur optischen Charakterisierung von diffraktiv-optischen Mikrostrukturen. Es wird in diesem Rahmen ein kompletter Messplatz konzeptioniert und sein Aufbau dokumentiert. Dem zu Grunde liegend wird zunächst die Fraunhofer-Beugung am linearen Binärgitter und Bestimmung der Strukturtiefe aus dem Beugungsbild erläutert. Es wird auf das optische Messprinzip samt Beispielmessungen eingegangen. Besondere Beachtung findet die Darstellung der Implementierung des Messplatzes. Dies führt von der Konzeptionierung über die Konstruktion bis hin zur Auswertung mit dem Programm LabVIEW 8.2.

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