Entwicklung und Charakterisierung von lasertransformierbaren Schichten auf Basis von Indiumzinnoxid

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Dünne Schichten aus Indiumzinnoxid (ITO) und anderen transparenten und elektrisch leitfähigen Oxiden besitzen eine große technische und somit auch wirtschaftliche Bedeutung. Viele der technischen Anwendungen dieser Materialien setzen deren Abscheidung als feine Strukturen voraus. Dies kann zum Beispiel mittels relativ aufwändigen Lithographietechniken geschehen. In dieser Arbeit wurde eine neue Möglichkeit zur Strukturierung von dünnen ITO-Schicht mittels Lasertransformation untersucht. Mit einem Laser wird hierbei eine amorphe ITO-Schicht lokal erwärmt und somit Kristallisations- und Diffusionsprozesse ausgelöst. Dies führt zu einer strukturierten Modifikation der elektrischen und optischen Eigenschaften dieses Materials. Um den Transformationshub der Schichteigenschaften zu maximieren, wurde in dieser Arbeit die Schichtabscheidung aus der Gasphase optimiert. Ziel war es amorphe, stark hochohmige und wenig transparente ITO-Schichten zu erzeugen, welche sich durch thermische und laserinduzierte Erwärmung in kristalline, elektrisch gut leitfähige und transparente Schichten umwandeln lassen. Dies gelang durch spezielle Abscheidebedingungen mit dem Elektronenstrahlverdampfen.