Hybridpolymere Wellenleiter für die Evaneszent Feld Mikroskopie

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Die Forschung an zellulären Prozessen schreitet voran, neue Technologien zur Überwachung biologischer Aktivitäten gewinnen dabei immer mehr an Bedeutung. Insbesondere in der Mikro- und Nanotechnologie eröffnen sich neue Wege, um Einblick in zelluläre Vorgänge zu erhalten, die früher nicht mit vergleichbarer Präzision erforschbar waren. Voraussetzung für die Entwicklung dieser Techniken ist die stetige Miniaturisierung der verwendeten Bauteile. Die altbekannte Glasfaser ist längst nicht mehr das kleinste realisierbare Übertragungsmedium für Signale auf Lichtbasis. Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Herstellung bündig versenkter Wellenleiterstrukturen auf Hybridpolymerbasis, eingebettet in PMMA. Die Realisierung dieser Wellenleiterstrukturen erfolgt zum einen mit Hilfe der Photolithographie, und zum anderen durch einen Ätzprozess mit reaktiven Ionen. Sämtliche Arbeitsschritte bis hin zum fertigen Wellenleiter werden in dieser Arbeit ausführlich beschrieben. Außerdem wird eine interessante Alternative zur Herstellung von lichtleitenden Elementen im Hybridpolymer vorgestellt: die UV-induzierte Brechzahlmodifikation.