Modelling of Microfabrication Systems

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This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

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Artikelnummer 9783540002529
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Autor Nassar, Raja / Dai, Weizhong
Einband C, Nanotechnology and Microengineering, Simulation and Modeling, Numerical analysis, Electronics and Microelectronics, Instrumentation, Nanotechnology, Microsystems and MEMS, computer science, engineering, Computer simulation, Electronics, Microelectronics, Computer modelling & simulation, Electronics engineering, Fester Einband
Sprache eng
Seiten 270
Verlag Springer Nature EN
Reihe Microtechnology and MEMS
Publikationsjahr 2003

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