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- Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern
Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern
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